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產(chǎn)品名稱：E01.Cap 電容式測(cè)微儀

產(chǎn)品型號(hào)：

產(chǎn)品報(bào)價(jià)：

產(chǎn)品特點(diǎn)：E01.Cap 電容式測(cè)微儀是毫米級(jí)測(cè)量范圍、納米級(jí)測(cè)量精度的儀器。測(cè)微儀包括電感測(cè)微儀、電容測(cè)微儀、激光測(cè)微儀三種類型，主要用于高精度測(cè)量長度、厚度、深度、錐度等應(yīng)用。

更新日期：2026-02-27

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E01.Cap 電容式測(cè)微儀的詳細(xì)資料：

E01.Cap 電容式測(cè)微儀是毫米級(jí)測(cè)量范圍、納米級(jí)測(cè)量精度的儀器。測(cè)微儀包括電感測(cè)微儀、電容測(cè)微儀、激光測(cè)微儀三種類型，主要用于高精度測(cè)量長度、厚度、深度、錐度等應(yīng)用。

原理

它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對(duì)面被測(cè)目標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測(cè)量任何金屬時(shí)，傳感器仍是線性的。

E01.Cap 電容式測(cè)微儀技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	E09.Cap	單位
量程范圍	0~200	μm
線性度	±0.1	μm
靜態(tài)分辨率	2.5	nm
動(dòng)態(tài)分辨率（1kHz）	100	nm
傳感器直徑	10	mm
小目標(biāo)直徑	10	mm
靜態(tài)重復(fù)性	5	nm
信號(hào)溫度穩(wěn)定性	＜ 0.005	%FSO/℃
長期穩(wěn)定性	＜ 0.04	%FSO/ 月
帶寬	2	kHz（-3dB）
工作溫度范圍	+10~+50	℃
環(huán)境濕度	<85	%
電壓輸出范圍	0~+10	V
供電電壓	220VAC 50Hz±10%
傳感器線長	1.6	m
板卡尺寸：長×高× 深	35×130×180	mm
機(jī)箱尺寸：長×高× 深	280×170×360	mm

特性：

• 模塊化設(shè)計(jì)、自由組拼

• 可提供單個(gè)板卡模塊

• 高分辨率 • 模擬輸出

• 非接觸式測(cè)量

應(yīng)用：

• Z向水準(zhǔn)測(cè)量 • X, Y向定位

• 軸向振動(dòng)測(cè)量

• 熱膨脹測(cè)量 • 位移臺(tái)傳感器

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