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有哪些因素會影響壓電納米定位臺的定位精度?

更新時間: 2022-04-18

  壓電納米定位臺工作時,原子力探針的針頭部置于干涉顯微鏡的光軸上,產(chǎn)生干涉條紋由CCD接收,當(dāng)XY二維壓電納米定位臺帶動樣件移動時,表面高度變化,引起原子力探針變化,其變化量由白光干涉條紋計量。當(dāng)原子力探針的變化量超過預(yù)定閾值,Z向壓電陶瓷啟動,將原子力探針拉回原位,實現(xiàn)原子力探針的跟蹤測量。
 
  疊堆型壓電促動器是利用縱向壓電效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)化為位移動力等機械能的陶瓷元件,采用高應(yīng)變率的壓電陶瓷材料,以及元件結(jié)構(gòu)設(shè)計,外形更小,形狀各異,造型豐富,應(yīng)用范圍涵蓋各種裝置的準(zhǔn)確定位或驅(qū)動源等,用途廣泛?;谒麄兊脑O(shè)計,非常適合易于集成到特定的客戶系統(tǒng)中。它們外部表面是由一個靈活的絕緣材料構(gòu)成,具有灰色樹脂與綠色樹脂兩種版本規(guī)格。
 
  疊堆壓電陶瓷驅(qū)動器產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上面對抗拉力的耐受度低,如果施加拉力,則有可能發(fā)生故障(損壞)。若在使用過程中,施加壓縮力,則能有效防止機械性損壞。對元件施加的壓力,請以元件的輸出力的20~50%為參考值。安裝時,請使元件的位移發(fā)生軸與安裝面保持垂直。協(xié)助配合壓電陶瓷的安裝,可選擇球頭端或扁平面鎢鋼合金進行安裝操作。
 
  壓電納米定位臺系統(tǒng),磁滯嚴(yán)重降低其定位精度?;诖艤婺P偷亩ㄎ豢刂品椒?,可提高定位精度。然而,因其對模型依賴大,無法在內(nèi)、外擾動因素存在時,仍保證良好的定位效果。為此,視磁滯為干擾,設(shè)計不基于磁滯及定位系統(tǒng)數(shù)學(xué)模型的自抗擾控制,利用擴張狀態(tài)觀測器主動估計磁滯,并實時補償之,以保證定位精度。
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