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高精度直線壓電掃描臺特點及應用領域

更新時間: 2020-11-16

高精度直線壓電掃描臺是以壓電陶瓷作為驅動源,結合柔性鉸鏈機構實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺,壓電掃描臺中心具有通孔體積小巧、無摩擦、分辨率高、響應速度快,配置高精度傳感器,可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠。產品主要應用于透光精密光學器件的定位與調整、生物顯微與光學顯微成像系統(tǒng)等。

特點

高分辨率

壓電掃描臺是以壓電陶瓷作為驅動源,壓電陶瓷是高精度致動器,通過控制電壓的微小變化產生非常小的位移,可達到亞納米級。

多種通孔尺寸可選

從適用于小型設備(如紅外熱成像)的小通孔壓電掃描臺到大型設備(如大口徑干涉儀)用的大通孔壓電掃描臺,多種規(guī)格型號可選

快速響應、抗干擾

壓電納米定位臺由容性負載驅動,可產生毫秒級的響應時間,響應速度非??欤瑫r由于自身的材料特性,使其在使用過程中不受干擾,能夠實現(xiàn)大的性能輸出。

無磨損、低功耗

壓電納米運動系統(tǒng)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度,具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。同時壓電效應將電能直接轉換為運動,在靜態(tài)操作時,即使在負載情況下,也不會消耗功率。

應用領域

原子力顯微鏡

閉環(huán)納米定位掃描臺作為原子力顯微鏡的一部分,可帶動樣品進行高速精密運動,可以實現(xiàn)X、Y、Z軸大375μm的掃描,分辨率為亞納米級,響應時間可達亞毫秒。

三維共焦顯微

三維共聚焦顯微拉曼光譜分析儀器,能在納米范圍內測量物質化學狀態(tài)的三維圖像。壓電物鏡驅動器實現(xiàn)對顯微鏡在Z軸方向上的納米級在線實時調焦,XY二維壓電掃描臺實現(xiàn)對被測物高精度的二維平面位移運動。

紅外熱成像掃描

紅外熱成像通過紅外敏感CCD對物體進行成像,能反映出物體表面的溫度場。二維壓電掃描臺的高速高精度掃描大大提高了熱成像的分辨率。

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