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壓電促動(dòng)器具有納米級(jí)分辨率、亞毫秒級(jí)響應(yīng)速度等特點(diǎn)，并且壓電促動(dòng)器及其控制器的體積小巧，非常易于集成至籠式結(jié)構(gòu)中，進(jìn)行快速及高精度的光學(xué)路徑調(diào)整。

籠式結(jié)構(gòu)白光干涉儀的體積小巧，將芯明天7VS12壓電促動(dòng)器及USB式壓電控制器集成于該設(shè)備中，可對(duì)白光中含有的各種光波長的干涉做快速掃描。

7VS12 壓電促動(dòng)器參數(shù)：

• 位移：9µm

• 直徑：12mm

• 諧振頻率：40kHz

E63 USB式壓電控制器參數(shù)：

• USB供電

• 上位機(jī)軟件直觀控制

• 輸出電壓：150V

壓電促動(dòng)器分開環(huán)與閉環(huán)兩種版本，其中開環(huán)版本適用于動(dòng)態(tài)快速掃描、步進(jìn)；閉環(huán)版本內(nèi)部配置有位移傳感器，非常適用于靜態(tài)或半靜態(tài)的位移運(yùn)動(dòng)及保持。

對(duì)于籠式結(jié)構(gòu)或其他結(jié)構(gòu)的干涉儀應(yīng)用，可根據(jù)光的波長及步進(jìn)距離選擇壓電促動(dòng)器的位移等參數(shù)。

我們可提供該白光干涉的整套設(shè)備，在該設(shè)備基礎(chǔ)上，增加部分部件及算法，即可達(dá)到干涉測(cè)量的目的。